НИР Минпромторга
Как выяснил CNews, Министерство промышленности заказало научно-исследовательские работы (НИР) для производства на территории России многих материалов, необходимых для микроэлектронного производства. В совокупности на эти цели Минпромторг выделил 1,1 млрд руб.
Например, ведомство заказало НИР на разработку и постановку на производство особо чистого гексафторида вольфрама за 287,6 млн руб., бромистого водорода за 261,6 млн руб., реагента для измерения загрязнения пластин катионами металлов рентгено-флуоресцентным методом за 158 млн руб., прекурсоров триэтилбората и триэтилфосфата за 79,5 млн руб. Помимо этого, Минпромторг заказал НИР на разработку технологии производства прекурсов тетракис титана за 79,3 млн руб. и гидроксида тетраметиламмония за 187,3 млн руб.
Информацию об этом можно обнаружить на портале ЕАС «Закупки».
Для чего эти материалы и кто потребитель
Все материалы перечисленные выше необходимы для изготовления интегральных микросхем и ранее, до введения санкций, поставлялись в Россию из-за рубежа. Например, особо чистый гексафторид вольфрам используется в микроэлектронике при синтезе теллуритных стекол для герметизации интегральных схем.
Фото: © IgorVetushko / Фотобанк Фотодженика Производителей ЭКБ обеспечат материалами, необходимыми для производства чипов
Разработка и постановка на производство химического соединения тетракис тинтана — это один из основных технологических процессов при производстве полупроводников с топологическими нормами 230-90 нм, отмечается в техзадании.
Все тендеры на НИР были опубликованы в середине февраля 2023 г. в формате открытого конкурса. Их победители еще не определены. Все работы должны быть завершены 12 декабря 2024 г. А разработанные технологические решения по производству материалов должны обеспечивать потребности предприятий производителей электронной компонентной базы (ЭКБ). В частности, в тендерных документах упоминаются «Микрон» и «НМ-Тех».
Производство фоторезистов
В начале марта 2023 г. CNews писал и о другом тендере Минпромторга, связанном с НИР по разработке и освоению производства литографических материалов для микроэлектронного производства, в частности, фоторезистов. На эти цели из бюджета выделено 1,1 млрд руб.
Как рассказал CNews директор Ассоциации российских разработчиков и производителей электроники (АРПЭ) Иван Покровский, производство фоторезистов необходимо для того, чтобы обеспечить стабильность технологических процессов на действующих линиях и соответственно стабильность качества выпускаемой продукции.
«В условиях санкционных ограничений невозможно обеспечить регулярные поставки из одного источника, а срок хранения фоторезиста составляет несколько месяцев, т.е. его невозможно закупить впрок, — отметил он. — При переходе от одного поставщика к другому технологические процессы требуют длительной настройки, показатели выхода годных значительно снижаются».
Выходит, ведомство на обеспечение производителей ЭКБ материалами, необходимыми для изготовления интегральных микросхем, совокупно выделило 2,2 млрд руб.